MEMS-Sensorentwurf unter Berücksichtigung von parasitären RC-Effekten
- Date
- Oct 23, 2015
- Time
- 2:00 PM - 3:00 PM
- Speaker
- Herr Axel Hald
- Affiliation
- Robert Bosch GmbH Reutlingen
- Series
- TUD Feinwerktechnik und Elektronik-Design Kolloquium
- Language
- de
- Main Topic
- Elektro- u. Informationstechnik
- Other Topics
- Elektro- u. Informationstechnik
- Host
- Prof. Dr.-Ing. habil. Jens Lienig, Institut für Feinwerktechnik und Elektronik-Design
- Description
- Bei der Entwicklung mikroelektromechanischer Systeme (MEMS) liegt der Schwerpunkt in der Auslegung der mechanischen Domäne. Diese ist durch Modelle und Simulationen sehr gut in den Entwurfsfluss eingebunden. Im Vergleich zu integrierten Schaltkreisen ist die Erfassung der parasitären RC-Effekte bei MEMS nur im Ansatz durch eigene Werkzeuge abgedeckt.
In diesem Vortrag werden Methoden zur automatisierten Analyse der parasitären RC-Effekte bei MEMS-Inertialsensoren vorgestellt, um sie für eine Optimierung des MEMS-Sensorentwurfs unter Berücksichtigung der parasitären RC-Effekte zu nutzen. - Links
Last modified: Oct 23, 2015, 10:01:29 AM
Location
TUD Barkhausen-Bau (Barkhausen-Bau, Zi.: II/26, Helmholtzstraße 18)Helmholtzstraße1801087Dresden
- Homepage
- https://navigator.tu-dresden.de/etplan/bar/00
Organizer
TUD Elektro- u. InformationstechnikGeorg-Schumann-Str.1101187Dresden
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- +49 351 463-34025
- Fax
- +49 351 463-37039
- TUD Elektro- u. Informationstechnik
- Homepage
- http://www.et.tu-dresden.de/etit/
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